CMP

  • POLI-400Lcmp抛光机
    POLI-400Lcmp抛光机是4&6英寸小型化学机械抛光机,采用手动装片方式,气囊薄膜柔性加压,可配置摩擦力&温度终点...
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  • TMP-200S/300S 半自动CMP抛光机
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  • TPC-2110 全自动CMP抛光机
    全自动CMP抛光机是一款针对薄膜(介质层)的全自动抛光设备,操作便捷,兼容性强,通过更换抛光压头实现不同尺寸晶圆的兼容,...
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  • TMP-150A/200A CMP抛光机
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  • POLI-500 CMP抛光机
    POLI-500是小型8英寸CMP机台,采用手动装片方式,可选配半自动loading托盘,气囊薄膜柔性加压,可配置摩擦力...
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  • POLI-762 CMP抛光机
    POLI-762是小型12英寸CMP机台,采用手动装片方式,可选配半自动loading托盘,气囊薄膜柔性加压,可配置摩擦...
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