产品中心

  • IVG-2035/3035 半自动双轴减薄机
    半自动双轴减薄机是一款安装两个砂轮轴的高精度研削设备,采用手动装片方式,配置自动厚度测量和补偿系统,产品粗磨后移动至精磨...
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  • POLI-400Lcmp抛光机
    POLI-400Lcmp抛光机是4&6英寸小型化学机械抛光机,采用手动装片方式,气囊薄膜柔性加压,可配置摩擦力&温度终点...
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  • TSP-610 /810/910/1270 单面抛光机
    单面抛光机是一款操作简单,兼容性强,搭配不同盘配合相应的液可实现多种半导体材料高精度抛光设备,抛光盘可定制,根据量产要求...
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  • IVG-2040/3040 全自动单轴减薄机
    全自动减薄机是配有全自动上、下片系统的高精度研削设备,采用晶圆机械手取片,带有自动对中、清洗、干燥功能,可实现盒到盒、干...
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  • TDP-1200/1200A 双面抛光机
    双面抛光机分为双面机械抛光和双面化学抛光两种,分别代表双面抛光的粗加工和精加工。主要用于晶片的表面抛光,操作简单,搭配不...
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  • TMP-200S/300S 半自动CMP抛光机
    CMP抛光机是一款针对薄膜(介质层)的抛光设备,操作便捷,兼容性强,通过更换抛光压头实现不同尺寸晶圆的兼容,采用手动装片...
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  • TAP-400/600/450A/500精密研磨抛光机
    TAP-400/600/450A/500精密研磨抛光机系列设备是两轴高精密单面抛光设备,抛光头可自转、可摆动,可实现高压...
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  • 陶瓷盘清洗机 TBC-485
    TBC-485是全自动陶瓷盘清洗机,采用机械臂及上下料仓全自动搬运流转陶瓷盘,设备具备自动配液及药液预加热功能,浸泡清洗...
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  • 陶瓷盘清洗机 TBC-576
    TBC-576是全自动陶瓷盘清洗机,采用机械臂及上下料仓全自动搬运流转陶瓷盘,设备具备自动配液及药液预加热功能,浸泡清洗...
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  • TDL-600/1200 双面研磨机
    双面研磨机是一款操作简单,兼容性强的高效率研磨加工设备。主要用于晶片的双面机械研磨,通过搭配不同材质的研磨盘和不同粒径及...
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  • TPC-2110 全自动CMP抛光机
    全自动CMP抛光机是一款针对薄膜(介质层)的全自动抛光设备,操作便捷,兼容性强,通过更换抛光压头实现不同尺寸晶圆的兼容,...
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  • TFG-3200 全自动减薄机
    全自动减薄机是一款功能全面,兼容性好,配置丰富,全自动系统的高精度研磨设备,全自动上下片,干进干出的全自动研削系统;自动...
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