刷洗机

  • 陶瓷盘清洗机 TBC-485
    TBC-485是全自动陶瓷盘清洗机,采用机械臂及上下料仓全自动搬运流转陶瓷盘,设备具备自动配液及药液预加热功能,浸泡清洗...
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  • 陶瓷盘清洗机 TBC-576
    TBC-576是全自动陶瓷盘清洗机,采用机械臂及上下料仓全自动搬运流转陶瓷盘,设备具备自动配液及药液预加热功能,浸泡清洗...
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  • 半自动晶圆刷洗机TSC-100/300S
    该系列设备是晶圆CMP后的专用清洗设备,单工位单腔设计。该系列设备可集成PVA刷洗、兆声清洗、N2吹干、高速甩干等功能,...
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  • 全自动晶圆刷洗机 TSC-150C/200C/200L
    该系列设备是晶圆抛光后的专用清洗设备,集成全自动上下料系统、双面PVA刷洗、兆声清洗、甩干&N2吹干等单元,集成度高,湿...
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  • 晶片刷洗机
    晶片刷洗机是一款全自动晶片刷洗机,全程封闭环境采用机械手自动操作,具备刷洗甩干功能,适用于各种半导体衬底材料抛光后的刷洗...
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